3D表面形貌分析
3D表面形貌分析

技术指标

     

    • LED 光源波长:505 nm

     

    • 测量耗时:5到10 秒

     

    • Z 方向测量范围:250μm,分辨率:2nm

     

    • X/Y 方向,平台移动范50mm*50mm,

     

    (马达驱动),分辨率:0.3μm

     

    • 物镜:10X、20X、50X、100X

     

    功能及特性

     

    • 检测样品表面形貌

     

    • 测量样品的高度、深度以及起伏角度(纳米级分辨率)