微加工及电学性能测试
微加工及电学性能测试1

技术指标

 

• SEM扫描成像功能

 

• 电子束曝光微加工最小尺度20nm

 

• 探针台针尖分辨率3μm

 

• keithley 2612A双通道源表

 

功能及特性

 

• 石墨烯微纳米器件制备

 

微加工及电学性能测试2

• IV曲线测试,电阻、迁移率测试

 

• 光电响应特性测试